超纯水设备的设备参数,产水要达到什么指标?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/05 12:32:14
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产水水质: 电阻率:18.2 MΩ•cm 总有机碳(TOC) ≤ 10 ppb (紫外型 ≤ 5 ppb) 颗粒(>0.22µm)< 1 /mL 纯水电导率:0.1uS/cm-20uS/c
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