真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/05 21:06:16
![真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.](/uploads/image/z/6548676-60-6.jpg?t=%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E6%BA%85%E5%B0%84%E9%95%80%E8%86%9C%E9%80%8F%E5%85%89%E7%8E%87%E6%80%BB%E6%98%AF%E4%B8%8D%E5%9D%87%E5%8C%80%2C%E4%B8%80%E8%88%AC%E9%83%BD%E6%98%AF%E4%B8%8A%E9%AB%98%E4%B8%8B%E4%BD%8E%2C%E6%8D%A2%E4%BA%86%E4%B8%80%E5%A5%97%E6%96%B0%E7%9A%84%E7%A3%81%E9%93%81%E8%BF%98%E6%98%AF%E8%80%81%E6%A0%B7%E5%AD%90.%E6%88%91%E4%BB%AC%E6%80%80%E7%96%91%E6%98%AF%E4%B8%8D%E6%98%AF%E6%8A%BD%E6%B0%94%E8%BF%99%E6%96%B9%E9%9D%A2%E6%9C%89%E9%97%AE%E9%A2%98.)
真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
真空溅射镀膜
透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
显然,你这是因为膜厚不同造成的.
影响膜厚的因素有很多.除了你考虑到的抽气以外,还有工艺气体分布、靶基距、磁场密度分布等等.
你可以先尝试是否能够通过调整气体分布,或靶基距,来达到要求.
真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
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